使用商業(yè)碳化硅爐有時(shí)可以生長(zhǎng)出大的半導(dǎo)體碳化硅晶體。然后最近以實(shí)驗(yàn)室規(guī)模成功地合成了這種晶體材料。今天小編為大家介紹的是碳化硅微粉的提純方式：
生長(zhǎng)在石墨坩堝內(nèi)部的空心圓柱體中的碳化硅晶片是在碳管爐內(nèi)加熱到2500℃以上制成的，溫度的安排是要使得碳化硅圓柱體的中心溫度較外部為低。向里 面擴(kuò)散的碳化硅蒸汽因而變得過(guò)飽和，并且在圓柱體的中心冷凝下來(lái)形成單晶體。可以在工作氣筑中引入某種雜質(zhì)以改變生長(zhǎng)的晶體的成分。
